实验仪器及装置-0306
 


点击查看大图
  预约相关信息:
  喷金另算50元/次 首次使用前请使用QQ联系管理员说明具体样品信息：120796916
设备编号 1818471G 设备名称 场发射环境扫描电镜
开放日期 2019-06-10 关闭日期 2040-05-31
排除日期 2019-06-03, 2019-06-04, 2019-06-05,2021-07-26,2021-07-27,2021-07-28,2021-07-29,2021-07-30,2021-08-02,2021-08-03,2021-08-04,2021-08-05,2021-08-06, 2021-08-02, 2021-08-03, 2021-08-04, 2021-08-05, 2021-08-06, 2021-08-09, 2021-08-10, 2021-08-11, 2021-08-12, 2021-08-13, 2022-01-19, 2022-01-21, 2022-01-22, 2022-01-23, 2022-01-24, 2022-01-25, 2022-01-26, 2022-01-27, 2022-01-28, 2022-01-29, 2022-01-30, 2022-01-31, 2022-02-01, 2022-02-02, 2022-02-03, 2022-02-04, 2022-02-05, 2022-02-06, 2022-02-07, 2022-02-08, 2022-02-09, 2022-02-10, 2022-02-11, 2022-02-12, 2022-02-13, 2022-02-14, 2022-02-15, 2022-02-16, 2022-02-17, 2022-02-18, 2022-02-19, 2022-02-20, 2022-02-21, 2022-02-22, 2022-02-23, 2022-02-24, 2022-02-25, 2022-02-26, 2022-02-27, 2022-02-28 仪器预约状态 允许预约
实验时间长短 60分 位 置 周隆泉楼A1-107
开放时间 08:00:00, 09:00:00, 10:00:00, 11:00:00, 12:00:00, 13:00:00, 14:00:00, 15:00:00, 16:00:00, 17:00:00, 18:00:00 关闭时间 19:00:00, 20:00:00, 21:00:00, 22:00:00, 23:00:00, 00:00:00, 01:00:00, 02:00:00, 03:00:00, 04:00:00, 05:00:00, 06:00:00, 07:00:00
提前预约天数 0天 计量认证状态 未通过计量认证
状 态 正常使用 仪器负责人 刘洁
设备分类 实验仪器及装置-0306 采购日期 2017/8/21
仪器价格 3653079 元 是否开放 开放
型号/规格 FEI Quanta 650 FEG 预约是否收费 预约收费
仪器介绍

场发射环境扫描电镜配备三个二次电子检测器，高灵敏度低电压环形背散射电子检测器，可抽拉式环形扫描透射STEM检测器，可抽拉式WetSTEM系统，具体参数及功能如下：

1、电子光学部件

最大观察范围: 26.2mm；加速电压: 200 V to 30 kV；射束电流: 最高达200nA

2、分辨率

高真空：30kV下1.2 nm (SED)；30kV下2.5 nm (BSED);

        30kV下0.8 nm(STEM); 1kV下2.3 nm(BD)；200V下3.1nm（BD）

低真空:  30kV下1.4 nm (SED);  30kV下2.5 nm（BSED）

环境真空(ESEM): 30kV下1.4 nm (SED)

3、样品室压力最高达4000 Pa，不同真空模式下的压力：

Chamber vacuum (high) mode < 6×10-4 Pa

Chamber vacuum (low) mode < 10 to 130 Pa

ESEM vacuum mode < 10 to 4000 Pa

4、样品台移动范围：Quanta 650: X=Y=150mm；Z=65mm；倾斜角度 70度至-5度

5、能谱（EDAX）Octane氮化硅双探头能谱，140mm2(2x70mm2)，分辨率：127eV

6、适用于各种样品的表面、内部精细形貌和结构高分辨、静态和动态变化进行多尺度的分析成像，结合EDAX能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析。