光学显微镜：放大20-135倍

电镜放大：最高150,000倍

探测器：背散射电子探测器、二次电子探测器

灯丝材料：1,500小时CeB6灯丝

分辨率：优于8nm@10kV

加速电压：5kV-15kV

抽真空时间：小于15秒

探测元素范围：B（5）-Am（95）号元素

能谱探测器：硅漂移探测器（SDD）

输出报告：DOCX