仪器基本情况：

仪器名称：场发射环境扫描电镜

设备编号：1818471G

厂家：美国 FEI

型号：Quanta 650 FEG 

主要技术指标：

场发射环境扫描电镜配备三个二次电子检测器，高灵敏度低电压环形背散射电子检测器，可抽拉式环形扫描透射STEM检测器，可抽拉式WetSTEM系统，具体参数及功能如下：

1、电子光学部件

最大观察范围: 26.2mm；加速电压: 200 V to 30 kV；射束电流: 最高达200nA

2、分辨率

高真空：30kV下1.2 nm (SED)；30kV下2.5 nm (BSED);

             30kV下0.8 nm(STEM); 1kV下2.3 nm(BD)；200V下3.1nm（BD）

低真空:  30kV下1.4 nm (SED);  30kV下2.5 nm（BSED）

环境真空(ESEM): 30kV下1.4 nm (SED)

3、样品室压力最高达4000 Pa，不同真空模式下的压力：

Chamber vacuum (high) mode < 6×10-4 Pa

Chamber vacuum (low) mode < 10 to 130 Pa

ESEM vacuum mode < 10 to 4000 Pa

4、样品台移动范围：Quanta 650: X=Y=150mm；Z=65mm；倾斜角度 70度至-5度

5、能谱（EDAX）Octane氮化硅双探头能谱，140mm2(2x70mm2)，分辨率：127eV

 功能简介：

适用于各种样品的表面、内部精细形貌和结构高分辨、静态和动态变化进行多尺度的分析成像，结合EDAX能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析。

仪器位置：周隆泉楼一楼质谱中心A1-107

联系方式：刘洁 liujie23@xmu.edu.cn