仪器名称：台式扫描电镜
设备编号：S2010054
厂家：Phenom
型号：Prox
主要技术指标：
放大倍率：集成在电镜中的光学显微镜放大20-135倍，电子放大150,000倍
背散射电子探测器分辨率：优于 8nm，二次电子分辨率优于6nm
加速电压： 5kV-15kV连续可调，束斑直径大小可连续可调
灯丝材料：CeB6,灯丝单根寿命：>1500h；灯丝仓与电子仓、样品仓三仓分离，观察绝缘体不影响灯丝寿命
预抽真空时间：小于15s
真空技术：且有真空分级技术,低真空观测灯丝寿命不受影响
样品台移动控制方式：自动样品台控制，高清屏操作界面配合样品，具有X、Y坐标回位功能
图像观测导航界面：光学导航界面与电子导航界面，电子光学导航，实现鼠标点到哪看到哪，操作方便
检测信号：高灵敏度背散射电子探测器
从开始载样到成像时间：30s
观察模式：全面模式（形貌和成份）、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）针对已保存图片，选中保存图片，即可一键还原到原来位置，并还原图片原有参数
真空系统：隔膜泵，涡轮分子泵
软件平台：Linux系统,对病毒免疫
数据存储：移动硬盘或者电脑、网络存储
内部完全集成能谱EDS
探测器类型：硅漂移探测器（SDD）
探测器晶体活性面积优于：30mm2
冷却方式：无液氮 Peltier 效应制冷
能量分辨率：<123eV（Mn Kα）
元素探测范围：B（5）-Am（95）
元素分析：自动和手动元素确认
能谱谱线拟合方式：反卷积拟合方式
可拓展软件系统：纤维测量系统，全景拼图功能，颗粒测量系统，孔径测量系统，3D粗糙度测量系统。
功能简介：
台式扫描电镜主要用于对各种样品（贝类幼体、贝壳、藻类、浮游动植物等生物样品）表面进行高分辨形貌观察，提供样品亚微米、纳米尺寸的高分辨图像，对其表面元素成分进行定性定量分析。
联系方式：卢颖yinglu@xmu.edu.cn
